本發(fā)明涉及光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)裝置,特別涉及一種校準(zhǔn)裝置及其校準(zhǔn)方法。、在精密光學(xué)系統(tǒng)的裝配與集成過程中,實(shí)現(xiàn)多個(gè)光學(xué)分系統(tǒng)的高精度光軸對(duì)準(zhǔn)是保障整體性能的核心環(huán)節(jié)。然而,該工序長(zhǎng)期以來嚴(yán)重依賴傳統(tǒng)人工調(diào)試方法:調(diào)試工作完全憑借工程師的個(gè)人經(jīng)驗(yàn),通過肉眼觀察光束或光斑的模糊狀態(tài)來主觀判斷調(diào)整方向與...