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物理量檢測裝置的制作方法

文檔序號:11160325閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種測量通過主通路的被測量氣體的物理量的物理量檢測裝置,其特征在于,包括:

具有從所述主通路取入所述被測量氣體的副通路的殼體;

配置在所述副通路內檢測所述被測量氣體的壓力的至少一個壓力傳感器;

配置在所述副通路內檢測所述被測量氣體的濕度的濕度傳感器;

用于設置所述壓力傳感器和所述濕度傳感器,并對所述濕度傳感器的檢測信號和所述壓力傳感器的檢測信號進行運算處理的電路基板,

所述壓力傳感器和所述濕度傳感器在所述副通路內沿所述被測量氣體的流動方向排列配置,所述壓力傳感器中的至少一個壓力傳感器配置在被測量氣體的流動方向上游側,所述濕度傳感器配置得比所述至少一個壓力傳感器靠所述被測量氣體的流動方向下游側。

2.如權利要求1所述的物理量檢測裝置,其特征在于:

所述壓力傳感器和所述濕度傳感器配置在所述副通路內相對于所述被測量氣體的流動方向偏移的位置。

3.如權利要求2所述的物理量檢測裝置,其特征在于:

所述壓力傳感器和所述濕度傳感器中,所述壓力傳感器與所述濕度傳感器相比,具有所述被測量氣體的流動方向的投影面積較大的形狀,并且以所述濕度傳感器的投影面積的范圍被包含在所述壓力傳感器的所述投影面積的范圍內的方式配置。

4.如權利要求1~權利要求3中任一項所述的物理量檢測裝置,其特征在于:

所述壓力傳感器具有在中間隔著所述濕度傳感器的、配置在所述被測量氣體的流動方向的上游側和下游側的第一壓力傳感器和第二壓力傳感器。

5.如權利要求1~權利要求4中任一項所述的物理量檢測裝置,其特征在于:

所述濕度傳感器檢測所述被測量氣體的濕度和溫度這兩者。

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