本公開涉及電容器，更詳細(xì)地，涉及具有導(dǎo)電體-電介質(zhì)-導(dǎo)電體的構(gòu)造的電容器。

背景技術(shù)：

1、以往，已知能夠利用纖維狀構(gòu)件來(lái)制造電容器。例如，在專利文獻(xiàn)1中，記載了如下的方法，即，在基板（基底面）上形成纖維狀構(gòu)件，并在其表面上依次形成下部板（金屬）、絕緣層以及上部板（金屬），由此形成具有金屬-絕緣體-金屬（mim）的構(gòu)造的電容器。

2、在先技術(shù)文獻(xiàn)

3、專利文獻(xiàn)

4、專利文獻(xiàn)1：日本特表2010-506391號(hào)公報(bào)

5、非專利文獻(xiàn)

6、非專利文獻(xiàn)1：michael?f?l?de?volder,?sei?jin?park,?sameh?h?tawfick,daniel?o?vidaud?and?a?john?hart,?"fabrication?and?electrical?integration?ofrobust?carbon?nanotube?micropillars?by?self-directed?elastocapillarydensification",?journal?of?micromechanics?and?microengineering,?2011.

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、發(fā)明要解決的問(wèn)題

2、在纖維狀構(gòu)件具有導(dǎo)電性的情況下，如果在纖維狀導(dǎo)電性構(gòu)件的表面上形成電介質(zhì)層，并進(jìn)一步形成導(dǎo)電體層，則能夠形成具有導(dǎo)電體-電介質(zhì)-導(dǎo)電體的構(gòu)造的電容器。

3、作為多個(gè)纖維狀導(dǎo)電性構(gòu)件，例如，能夠利用垂直取向碳納米管（verticallyaligned?carbon?nanotubes，以下，也稱為“vacnt”）。vacnt能夠在附著了催化劑的基板上以高密度進(jìn)行生長(zhǎng)而得到。由多個(gè)vacnt構(gòu)成了森林（forest）。在電容器中，vacnt被電介質(zhì)層以及導(dǎo)電體層覆蓋。

4、被電介質(zhì)層以及導(dǎo)電體層覆蓋的森林（復(fù)合體構(gòu)件）主要通過(guò)電介質(zhì)層與基板接觸?；搴碗娊橘|(zhì)層在熱膨脹系數(shù)上存在差異。因此，若電容器或者其前體被加熱，則由于熱膨脹系數(shù)的差異，有可能在基板與復(fù)合體構(gòu)件之間產(chǎn)生剝離。

5、本公開的目的在于，提供一種基板和復(fù)合體構(gòu)件的接合強(qiáng)度高的電容器。

6、用于解決問(wèn)題的技術(shù)方案

7、根據(jù)本公開的主旨，可提供一種電容器，具備：

8、基板，具有導(dǎo)電性；

9、多個(gè)纖維狀導(dǎo)電性構(gòu)件，配置在所述基板上，并且與所述基板電連接；

10、電介質(zhì)層，被覆所述纖維狀導(dǎo)電性構(gòu)件的表面；以及

11、導(dǎo)電體層，被覆所述電介質(zhì)層的表面，

12、多個(gè)所述纖維狀導(dǎo)電性構(gòu)件、所述電介質(zhì)層、所述導(dǎo)電體層、以及在由所述電介質(zhì)層和所述導(dǎo)電體層被覆的多個(gè)所述纖維狀導(dǎo)電性構(gòu)件之間形成的空間構(gòu)成了復(fù)合體構(gòu)件，

13、在沿著所述基板的厚度方向的剖面中，

14、將所述基板的面內(nèi)方向設(shè)為寬度方向，所述復(fù)合體構(gòu)件具有相對(duì)于所述基板相反側(cè)的寬度w1和基板側(cè)的寬度w2，所述寬度w1比所述寬度w2小。

15、發(fā)明效果

16、根據(jù)本公開，可提供一種基板和復(fù)合體構(gòu)件的接合強(qiáng)度高的電容器。

技術(shù)特征：

1.一種電容器，具備：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容器，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電容器，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任一項(xiàng)所述的電容器，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電容器，其中，

6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中的任一項(xiàng)所述的電容器，其中，

7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中的任一項(xiàng)所述的電容器，其中，

8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中的任一項(xiàng)所述的電容器，其中，

9.根據(jù)權(quán)利要求1～8中的任一項(xiàng)所述的電容器，其中，

10.根據(jù)權(quán)利要求1～9中的任一項(xiàng)所述的電容器，其中，

11.根據(jù)權(quán)利要求1～10中的任一項(xiàng)所述的電容器，其中，

12.根據(jù)權(quán)利要求1～11中的任一項(xiàng)所述的電容器，其中，

13.根據(jù)權(quán)利要求1～12中的任一項(xiàng)所述的電容器，其中，

14.根據(jù)權(quán)利要求1～13中的任一項(xiàng)所述的電容器，其中，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明實(shí)現(xiàn)使用了多個(gè)纖維狀導(dǎo)電性構(gòu)件并且基板和復(fù)合體構(gòu)件的接合強(qiáng)度高的電容器。一種電容器，具備：基板，具有導(dǎo)電性；多個(gè)纖維狀導(dǎo)電性構(gòu)件，配置在所述基板上，并且與所述基板電連接；電介質(zhì)層，被覆所述纖維狀導(dǎo)電性構(gòu)件的表面；以及導(dǎo)電體層，被覆所述電介質(zhì)層的表面，多個(gè)所述纖維狀導(dǎo)電性構(gòu)件、所述電介質(zhì)層、所述導(dǎo)電體層、以及在由所述電介質(zhì)層和所述導(dǎo)電體層被覆的多個(gè)所述纖維狀導(dǎo)電性構(gòu)件之間形成的空間構(gòu)成了復(fù)合體構(gòu)件，在沿著所述基板的厚度方向的剖面中，將所述基板的面內(nèi)方向設(shè)為寬度方向，所述復(fù)合體構(gòu)件具有相對(duì)于所述基板相反側(cè)的寬度W<subgt;1</subgt;和基板側(cè)的寬度W<subgt;2</subgt;，所述寬度W<subgt;1</subgt;比所述寬度W<subgt;2</subgt;小。

技術(shù)研發(fā)人員：柳井創(chuàng)太,清水康弘,永田真己,白井暢明
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社村田制作所
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/15