本文提供的實施例涉及一種檢查圖像增強技術(shù)，更具體地，涉及通過同時執(zhí)行聚焦序列和局部對準來進行檢查圖像增強。

背景技術(shù)：

1、在集成電路(ic)的制造過程中，需要對未完成或已完成的電路部件進行檢查，以確保其根據(jù)設計要求被制造并且無缺陷?？梢圆捎美霉鈱W顯微鏡或帶電粒子(例如，電子)束顯微鏡(諸如掃描電子顯微鏡(sem))的檢查系統(tǒng)。隨著ic部件的物理尺寸的不斷縮小，缺陷檢測的準確性和產(chǎn)率變得越來越重要。諸如sem圖像之類的檢查圖像可用于標識或分類已制造ic中的缺陷。為了提高缺陷檢測性能，期望一種能夠提高檢查系統(tǒng)吞吐量的檢查圖像增強技術(shù)。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本文提供的實施例公開了一種粒子束檢查裝置，更特別地，公開了一種檢查圖像的同時聚焦和圖像對準的檢查方法。

2、一些實施例提供了一種用于增強檢查圖像的方法。該方法包括：針對包含圖案的樣品區(qū)域，根據(jù)多個聚焦條件獲取多個檢查圖像；確定多個檢查圖像中的檢查圖像是否具有第一閾值范圍內(nèi)的聚焦指數(shù)；以及響應于確定檢查圖像具有第一閾值范圍內(nèi)的聚焦指數(shù)，使用檢查圖像進行圖像對準。

3、在一些實施例中，該方法包括：針對包含圖案的樣品的區(qū)域設置多個聚焦條件；根據(jù)多個聚焦條件獲取多個檢查圖像；確定多個檢查圖像中的每個檢查圖像的聚焦指數(shù)；標識多個檢查圖像中的聚焦指數(shù)被確定為在第一閾值范圍內(nèi)的檢查圖像；估計聚焦指數(shù)被確定為在第一閾值范圍內(nèi)的檢查圖像的對準參數(shù)；標識多個檢查圖像中的聚焦指數(shù)被確定為在第二閾值范圍內(nèi)的一個或多個檢查圖像；選擇與被確定為在第二閾值范圍內(nèi)的具有最大聚焦指數(shù)的檢查圖像相關(guān)聯(lián)的聚焦條件；以及基于估計的對準參數(shù)和選擇的聚焦條件來執(zhí)行圖像對準和聚焦校正。

4、在一些實施例中，提供了一種用于增強檢查圖像的裝置。該裝置包括：存儲指令集的存儲器；以及至少一個處理器，該至少一個處理器被配置為執(zhí)行指令集，以使得該裝置執(zhí)行：針對包含圖案的樣品的區(qū)域，根據(jù)多個聚焦條件獲取多個檢查圖像；確定多個檢查圖像中的檢查圖像是否具有第一閾值范圍內(nèi)的聚焦指數(shù)；以及響應于確定該檢查圖像具有第一閾值范圍內(nèi)的聚焦指數(shù)時，使用該檢查圖像執(zhí)行圖像對準。

5、在一些實施例中，該裝置包括存儲指令集的存儲器，以及至少一個處理器，該至少一個處理器被配置為執(zhí)行該指令集以使得該裝置執(zhí)行：針對包含圖案的樣品區(qū)域設置多個聚焦條件；根據(jù)多個聚焦條件獲取多個檢查圖像；確定多個檢查圖像中的每個檢查圖像的聚焦指數(shù)；標識多個檢查圖像中的聚焦指數(shù)被確定為在第一閾值范圍內(nèi)的檢查圖像；估計聚焦指數(shù)被確定為在第一閾值范圍內(nèi)的檢查圖像的對準參數(shù)；標識多個檢查圖像中的聚焦指數(shù)被確定為在第二閾值范圍內(nèi)的一個或多個檢查圖像；選擇與被確定為在第二閾值范圍內(nèi)的具有最大聚焦指數(shù)的檢查圖像相關(guān)聯(lián)的聚焦條件；以及基于估計的對準參數(shù)和選擇的聚焦條件來執(zhí)行圖像對準和聚焦校正。

6、在一些實施例中，提供了一種非暫態(tài)計算機可讀介質(zhì)，該非暫態(tài)計算機可讀介質(zhì)包括指令集，該指令集可由計算設備的一個或多個處理器執(zhí)行，以使得該計算設備執(zhí)行一種用于增強檢查圖像的方法。該方法包括：針對包含圖案的樣品區(qū)域，根據(jù)多個聚焦條件獲取多個檢查圖像；確定多個檢查圖像中的檢查圖像是否具有第一閾值范圍內(nèi)的聚焦指數(shù)；以及響應于確定檢查圖像具有第一閾值范圍內(nèi)的聚焦指數(shù)，使用檢查圖像執(zhí)行圖像對準。

7、在一些實施例中，非暫態(tài)計算機可讀介質(zhì)包括指令集，該指令集可由計算設備的一個或多個處理器執(zhí)行，以使得計算設備執(zhí)行用于增強檢查圖像的方法，該方法包括：針對包含圖案的樣品的區(qū)域設置多個聚焦條件；根據(jù)多個聚焦條件獲取多個檢查圖像；確定多個檢查圖像中的每個檢查圖像的聚焦指數(shù)；標識多個檢查圖像中的聚焦指數(shù)被確定為在第一閾值范圍內(nèi)的檢查圖像；估計聚焦指數(shù)被確定為在第一閾值范圍內(nèi)的檢查圖像的對準參數(shù)；標識多個檢查圖像中的聚焦指數(shù)被確定為在第二閾值范圍內(nèi)的一個或多個檢查圖像；選擇與被確定為在第二閾值范圍的具有最大聚焦指數(shù)的檢查圖像相關(guān)聯(lián)的聚焦條件；以及基于估計的對準參數(shù)和選擇的聚焦條件執(zhí)行圖像對準和聚焦校正。

8、通過結(jié)合附圖的以下描述，本公開的實施例的其他優(yōu)點將變得顯而易見，其中通過圖示和示例闡述了本發(fā)明的某些實施例。

技術(shù)特征：

1.一種用于增強檢查圖像的裝置，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述多個聚焦條件中的第一聚焦條件和第二聚焦條件分別設定第一焦點和第二焦點，并且所述第一焦點和所述第二焦點相對于樣品具有不同的相對位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述多個聚焦條件包括：物鏡的電流值、施加到工作臺的電壓偏置、或工作臺的豎直位置的變化。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中在使用所述檢查圖像執(zhí)行所述圖像對準時，所述至少一個處理器被配置為執(zhí)行所述指令集，以使得所述裝置還執(zhí)行：

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述至少一個處理器被配置為執(zhí)行所述指令集，以使得所述裝置還執(zhí)行：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其中所述第二閾值范圍比所述第一閾值范圍窄，并且所述第二閾值范圍被包括在所述第一閾值范圍內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中包含所述圖案的所述樣品的所述區(qū)域被選擇為包括獨特的樣品圖案、可辨別的圖案邊緣或視野。

8.一種非暫態(tài)計算機可讀介質(zhì)，包括指令集，所述指令集能夠由計算設備的一個或多個處理器執(zhí)行，以使得所述計算設備執(zhí)行用于增強檢查圖像的方法，所述方法包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的非暫態(tài)計算機可讀介質(zhì)，其中所述多個聚焦條件中的第一聚焦條件和第二聚焦條件分別設定第一焦點和第二焦點，并且所述第一焦點和所述第二焦點相對于樣品具有不同的相對位置。

10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的非暫態(tài)計算機可讀介質(zhì)，其中所述多個聚焦條件包括：物鏡的電流值、施加到工作臺的電壓偏置、或工作臺的豎直位置的變化。

11.根據(jù)權(quán)利要求8所述的非暫態(tài)計算機可讀介質(zhì)，其中在使用所述檢查圖像執(zhí)行圖像對準時，能夠由所述計算設備的一個或多個處理器執(zhí)行的所述指令集使得所述計算設備還執(zhí)行：

12.根據(jù)權(quán)利要求8所述的非暫態(tài)計算機可讀介質(zhì)，其中能夠由所述計算設備的一個或多個處理器執(zhí)行的所述指令集使得所述計算設備還執(zhí)行：

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的非暫態(tài)計算機可讀介質(zhì)，其中所述第二閾值范圍比所述第一閾值范圍窄，并且所述第二閾值范圍被包括在所述第一閾值范圍內(nèi)。

14.一種用于增強檢查圖像的方法，包括：

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中所述多個聚焦條件中的第一聚焦條件和第二聚焦條件分別設定第一焦點和第二焦點，并且所述第一焦點和所述第二焦點相對于樣品具有不同的相對位置。

技術(shù)總結(jié)
公開了一種粒子束檢查裝置，更特別地，公開了一種用于圖像增強的檢查圖像的同時聚焦和圖像對準的方法。用于增強檢查圖像的方法包括：針對包含圖案的樣品區(qū)域，根據(jù)多個聚焦條件獲取多個檢查圖像；確定多個檢查圖像中的檢查圖像是否具有第一閾值范圍內(nèi)的聚焦指數(shù)；以及響應于確定檢查圖像具有第一閾值范圍內(nèi)的聚焦指數(shù)，使用該檢查圖像執(zhí)行圖像對準。

技術(shù)研發(fā)人員：陳德育
受保護的技術(shù)使用者：ASML荷蘭有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/5/29