本技術(shù)涉及硅片加工設(shè)備，尤其涉及一種均勻加熱式硅片烘干爐結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、hit太陽能電池是一種利用晶體硅基板和非晶硅薄膜制成的混合型太陽能電池，所謂hit(heterojunction?with?intrinsic?thinlayer)結(jié)構(gòu)就是在p型氫化非晶硅和n型氫化非晶硅與n型硅襯底之間增加一層非摻雜(本征)氫化非晶硅薄膜。hit太陽能光伏電池基板以硅基板為主，在硅基板上沉積高能隙的硅納米薄膜，表層再沉積透明導(dǎo)電膜，背面設(shè)有背表面電場。通過優(yōu)化硅的表面結(jié)構(gòu)，可以降低透明導(dǎo)電氧化層和a-si層的光學(xué)吸收損耗。

2、hit太陽能光伏電池制備時，硅片表面印刷完導(dǎo)電漿后需要進行烘干，目前的做法是采用烘干爐加熱，現(xiàn)有技術(shù)，申請?zhí)枺?018206261189，一種卡塞式硅片烘干爐，其采用單面烘干的方式，這種烘干方式均勻性差，從而會導(dǎo)致硅片的轉(zhuǎn)換效率低，且增加不良率。

3、因此需要設(shè)計出一種均勻加熱式硅片烘干爐結(jié)構(gòu)解決以上問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的是，提供一種均勻加熱式硅片烘干爐結(jié)構(gòu)，以克服目前現(xiàn)有技術(shù)存在的上述不足。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術(shù)方案：

3、一種均勻加熱式硅片烘干爐結(jié)構(gòu)，其包括設(shè)備支架1設(shè)置在所述設(shè)備支架上的烘干爐隧道、置于所述烘干爐隧道內(nèi)且設(shè)置在所述設(shè)備支架上的輸送機構(gòu)、設(shè)置在所述烘干爐隧道上且用于對隧道內(nèi)部進行烘干的若干組熱風(fēng)單元，其特征在于：所述烘干爐隧道包括設(shè)置在所述設(shè)備支架上且拼接而成的若干隧道殼體、置于所述隧道殼體內(nèi)部的出氣板、以及設(shè)置在所述隧道殼體外側(cè)配合熱風(fēng)單元安裝的外殼安裝板，每組隧道殼體的兩側(cè)均設(shè)置有熱風(fēng)單元，且所述兩側(cè)的熱風(fēng)單元左右交錯設(shè)置，所述熱風(fēng)單元包括分別設(shè)置在所述一側(cè)外殼安裝板上且均勻分布在所述外殼安裝板四周中間位置的若干組進風(fēng)端、與所述進風(fēng)端相互接通的進風(fēng)管、設(shè)置在所述進風(fēng)管中部的加熱裝置、連接于所述進風(fēng)管末端的風(fēng)機、以及置于另一側(cè)外殼安裝板上的出風(fēng)口。

4、優(yōu)選的，在所述出氣板上均勻開設(shè)有若干出氣孔。

5、優(yōu)選的，在外殼安裝板設(shè)置有四組進風(fēng)端。

6、優(yōu)選的，所述隧道殼體內(nèi)部為中空機構(gòu)。

7、本實用新型的有益效果是：本技術(shù)方案通過設(shè)置相互之間交錯設(shè)置的熱風(fēng)單元，從而提高烘干爐隧道內(nèi)的熱風(fēng)烘干效率，兩側(cè)均能夠進行烘干，增加熱風(fēng)吹散的均勻性，從而保證硅片的烘干效率，以此提高了轉(zhuǎn)換效率，減少不良率。

技術(shù)特征：

1.一種均勻加熱式硅片烘干爐結(jié)構(gòu)，其包括設(shè)備支架設(shè)置在所述設(shè)備支架上的烘干爐隧道、置于所述烘干爐隧道內(nèi)且設(shè)置在所述設(shè)備支架上的輸送機構(gòu)、設(shè)置在所述烘干爐隧道上且用于對隧道內(nèi)部進行烘干的若干組熱風(fēng)單元，其特征在于：所述烘干爐隧道包括設(shè)置在所述設(shè)備支架上且拼接而成的若干隧道殼體、置于所述隧道殼體內(nèi)部的出氣板、以及設(shè)置在所述隧道殼體外側(cè)配合熱風(fēng)單元安裝的外殼安裝板，每組隧道殼體的兩側(cè)均設(shè)置有熱風(fēng)單元，且所述兩側(cè)的熱風(fēng)單元左右交錯設(shè)置，所述熱風(fēng)單元包括分別設(shè)置在所述一側(cè)外殼安裝板上且均勻分布在所述外殼安裝板四周中間位置的若干組進風(fēng)端、與所述進風(fēng)端相互接通的進風(fēng)管、設(shè)置在所述進風(fēng)管中部的加熱裝置、連接于所述進風(fēng)管末端的風(fēng)機、以及置于另一側(cè)外殼安裝板上的出風(fēng)口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種均勻加熱式硅片烘干爐結(jié)構(gòu)，其特征在于：在所述出氣板上均勻開設(shè)有若干出氣孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種均勻加熱式硅片烘干爐結(jié)構(gòu)，其特征在于：在外殼安裝板設(shè)置有四組進風(fēng)端。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種均勻加熱式硅片烘干爐結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述隧道殼體內(nèi)部為中空機構(gòu)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及硅片加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種均勻加熱式硅片烘干爐結(jié)構(gòu)。其包括設(shè)備支架設(shè)置在所述設(shè)備支架上的烘干爐隧道、置于所述烘干爐隧道內(nèi)且設(shè)置在所述設(shè)備支架上的輸送機構(gòu)、設(shè)置在所述烘干爐隧道上的若干組熱風(fēng)單元，所述烘干爐隧道包括設(shè)置在所述設(shè)備支架上且拼接而成的若干隧道殼體、置于所述隧道殼體內(nèi)部的出氣板、以及設(shè)置在所述隧道殼體外側(cè)配合熱風(fēng)單元安裝的外殼安裝板，每組隧道殼體的兩側(cè)均設(shè)置有熱風(fēng)單元，且所述兩側(cè)的熱風(fēng)單元左右交錯設(shè)置。本技術(shù)的有益之處：本技術(shù)方案通過設(shè)置相互之間交錯設(shè)置的熱風(fēng)單元，從而提高烘干爐隧道內(nèi)的熱風(fēng)烘干效率，從而保證硅片的烘干效率，以此提高了轉(zhuǎn)換效率，減少不良率。

技術(shù)研發(fā)人員：王云鳳
受保護的技術(shù)使用者：蘇州昊岳科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240829
技術(shù)公布日：2025/11/6