本申請涉及光伏，特別是涉及進(jìn)氣結(jié)構(gòu)和沉積設(shè)備。
背景技術(shù)：
1、背接觸（back?contact，簡稱為bc）電池，是一種用于提高太陽能電池效率的先進(jìn)設(shè)計(jì)，其將電池的所有金屬電極放置在電池片的背面，從而保證電池的正面不受任何金屬電極遮擋，進(jìn)而最大化電池吸收太陽光的面積，減少光學(xué)損失，提升光電轉(zhuǎn)換效率。
2、相關(guān)技術(shù)中，可以將硅片放置于沉積設(shè)備的爐管中進(jìn)行沉積。
3、然而，上述爐管的爐口和爐尾的沉積工藝氣體的流量差異較大。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、基于此，有必要提供一種進(jìn)氣結(jié)構(gòu)和沉積設(shè)備，可以減少爐管的第一通道口和第二通道口處的工藝氣體的流量差異。
2、第一方面，本申請實(shí)施例提供一種進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，包括：
3、爐管，沿第一方向延伸，爐管中設(shè)置容置通道，爐管沿第一方向的兩端分別設(shè)置有與容置通道連通的第一通道口和第二通道口；
4、兩個(gè)進(jìn)氣管組，均設(shè)置于容置通道中；同一進(jìn)氣管組包括多個(gè)進(jìn)氣管；兩個(gè)進(jìn)氣管組中一者的進(jìn)氣管為第一進(jìn)氣管，第一進(jìn)氣管由第一通道口延伸至爐管沿第一方向的管中部，兩個(gè)進(jìn)氣管組中另一者的進(jìn)氣管為第二進(jìn)氣管，第二進(jìn)氣管由第二通道口延伸至管中部；第一進(jìn)氣管和第二進(jìn)氣管上均設(shè)置有沿第一方向間隔排布的多個(gè)氣孔；
5、其中，第一進(jìn)氣管與第二進(jìn)氣管對應(yīng)，每一第一進(jìn)氣管和對應(yīng)的第二進(jìn)氣管用于接入相同的氣源。
6、本申請實(shí)施例提供的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，第一進(jìn)氣管由第一通道口延伸至爐管沿第一方向的管中部，第二進(jìn)氣管由第二通道口延伸至管中部，第一進(jìn)氣管與第二進(jìn)氣管對應(yīng)設(shè)置，第一進(jìn)氣管和對應(yīng)的第二進(jìn)氣管用于接入相同的氣源，從而使得在沉積過程中，沉積所需工藝氣體在進(jìn)氣結(jié)構(gòu)各處的進(jìn)氣均勻性較好，從而使得第一通道口和第二通道口處的硅片沉積的薄膜厚度差異較小，可以減小爐管各處的硅片上的薄膜的折射率差異，減少氣體流量差異對太陽能電池的效率的不良影響。
7、在其中一個(gè)實(shí)施例中，進(jìn)氣結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于容置通道中的多個(gè)固定件，一個(gè)進(jìn)氣管和多個(gè)固定件對應(yīng)設(shè)置；
8、在進(jìn)氣管和對應(yīng)的多個(gè)固定件中，多個(gè)固定件沿第一方向間隔排布，進(jìn)氣管通過對應(yīng)的固定件與爐管相連。
9、在其中一個(gè)實(shí)施例中，容置通道包括沿第一方向間隔排布的多個(gè)對沖區(qū)域；
10、在同一進(jìn)氣管組中，各進(jìn)氣管上的氣孔均與對沖區(qū)域?qū)?yīng)設(shè)置，各進(jìn)氣管上的氣孔均朝向?qū)?yīng)的對沖區(qū)域。
11、在其中一個(gè)實(shí)施例中，對沖區(qū)域與進(jìn)氣管組件之間沿垂直于第一方向的距離為第一距離；
12、多個(gè)對沖區(qū)域的第一距離沿爐管的第一方向的邊緣至中心的方向依次減小。
13、在其中一個(gè)實(shí)施例中，在同一進(jìn)氣管組中，多個(gè)進(jìn)氣管沿爐管的周向間隔排布；
14、相鄰兩個(gè)進(jìn)氣管沿爐管周向的距離為第二距離，相鄰兩個(gè)進(jìn)氣管的第二距離沿爐管的第一方向的邊緣至中心的方向逐漸減小。
15、在其中一個(gè)實(shí)施例中，在同一進(jìn)氣管上，相鄰兩個(gè)氣孔的距離沿爐管的第一方向的邊緣至中心的方向依次減小。
16、在其中一個(gè)實(shí)施例中，在同一進(jìn)氣管上，多個(gè)氣孔的開口尺寸沿爐管的第一方向的邊緣至中心的方向依次增大。
17、在其中一個(gè)實(shí)施例中，第一進(jìn)氣管與對應(yīng)的第二進(jìn)氣管之間沿第一方向具有間距。
18、在其中一個(gè)實(shí)施例中，第一進(jìn)氣管與對應(yīng)的第二進(jìn)氣管沿第一方向相對設(shè)置；
19、或者，第一進(jìn)氣管與對應(yīng)的第二進(jìn)氣管沿第一方向錯開設(shè)置，第一進(jìn)氣管朝向第二進(jìn)氣管的一側(cè)設(shè)置有第一輔助進(jìn)氣管，第二進(jìn)氣管朝向第一進(jìn)氣管的一側(cè)設(shè)置有第二輔助進(jìn)氣管，第一輔助進(jìn)氣管和第二輔助進(jìn)氣管沿爐管的周向相對設(shè)置。
20、第二方面，本申請實(shí)施例提供一種沉積設(shè)備，包括：上述第一方面中的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)。
21、本申請實(shí)施例提供的沉積設(shè)備，包括進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，第一進(jìn)氣管由第一通道口延伸至爐管沿第一方向的管中部，第二進(jìn)氣管由第二通道口延伸至管中部，第一進(jìn)氣管與第二進(jìn)氣管對應(yīng)設(shè)置，第一進(jìn)氣管和對應(yīng)的第二進(jìn)氣管用于接入相同的氣源，從而使得在沉積過程中，沉積所需工藝氣體在進(jìn)氣結(jié)構(gòu)各處的進(jìn)氣均勻性較好，從而使得第一通道口和第二通道口處的硅片沉積的薄膜厚度差異較小，可以減小爐管各處的硅片上的薄膜的折射率差異，減少氣體流量差異對太陽能電池的效率的不良影響。
1.一種進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述進(jìn)氣結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于所述容置通道中的多個(gè)固定件，一個(gè)所述進(jìn)氣管和多個(gè)所述固定件對應(yīng)設(shè)置；
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述容置通道包括沿所述第一方向間隔排布的多個(gè)對沖區(qū)域；
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述對沖區(qū)域與所述進(jìn)氣管組件之間沿垂直于所述第一方向的距離為第一距離；
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，在同一所述進(jìn)氣管組中，多個(gè)所述進(jìn)氣管沿所述爐管的周向間隔排布；
6.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，在同一所述進(jìn)氣管上，相鄰兩個(gè)所述氣孔的距離沿所述爐管的所述第一方向的邊緣至中心的方向依次減小。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，在同一所述進(jìn)氣管上，多個(gè)所述氣孔的開口尺寸沿所述爐管的所述第一方向的邊緣至中心的方向依次增大。
8.根據(jù)權(quán)利要求1-4任一所述的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一進(jìn)氣管與對應(yīng)的所述第二進(jìn)氣管之間沿所述第一方向具有間距。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一進(jìn)氣管與對應(yīng)的所述第二進(jìn)氣管沿所述第一方向相對設(shè)置；
10.一種沉積設(shè)備，其特征在于，包括：上述權(quán)利要求1-9任一所述的進(jìn)氣結(jié)構(gòu)。